被称为紫外线洗净或UV/OZONE洗净的该技术，1972年由Voron和Kuntz确认了基本原理以来，作为一个新的洗净技术而发展起来。

UV/OZONE洗净，是利用紫外线的能量和由此产生的O₃分解并氧化有机化合物，最终使其反应为CO₂和H₂O，将污垢气体化并将其去除的方法。

特定波长的光子能量用下式表达。
E=Nhc/λ(KJ/mol-1)・・・・・・・・・・・・・1

其中
N=6.022×1023mol-1(阿伏伽德罗常量)
N=6.626×10-37KJ･s(普朗克常数)
c＝2.988×108m･s-1(光速)
λ:光的波长 nm＝10-9m

利用这个公式，计算184.9nm 253.7nm以及365nm的每摩尔的紫外线能量，得出表1所示的数值。分解分子的结合，只要提供比结合能量更高的能量，就可以切断其结合，但是从表1和表2的数值可知，184.9nm和253.7nm线对分解有效果，365nm线基本没有用处。根据表2，氧(O＝O)的结合能量为490.4KJ/mol-1，将其用式①进行换算，约为243nm。
这意味着，243nm以下的波长的紫外线会分解O₂，事实上184.9nm线，如下式所示会生成O₃。

O₂＋(184.9nm)→O＋O・・・・・・2
O＋O₂→O₃・・・・・・・・・・3

如大气中的臭氧层破坏中所述，253.7nm的紫外线会很好地被臭氧吸收，如下式所示快速生成活性氧。

O₃＋(253.7nm)→O₂＋O・・・・・4

以这种方式，低压水银灯发射的184.9nm和253.7nm紫外线，直接分解有机物，从氧生成臭氧，并快速生成活性氧，能够使有机物氧化分解。
UV/OZONE洗净方法，是借用这种巧妙的复合作用，去除高度有机性的污垢的方法。