单元类型紫外线洗净改性設備

单元类型紫外线洗净改性設備
可以对应大型液晶面板等各种尺寸,清洁对策也万无一失。
产品的特点
基本规格
型号PL20021R-4
照射区域1,000×650mm
使用灯管EUV-200US
灯管个数21个
照射强度(距离10mm时)20mw/cm2
根据工件尺寸及惰性气体注入等,定制最合适的客製化规格。
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