紫外线偏光曝光設備
使用根据偏光角（Brewster'sangle）的紫外线曝光，即使是大画面也可以进行一次性曝光。
产品的特点
基本规格
| 主波长 | 313nm |
|---|---|
| 平行度 | ±1.5° [2.0kW] ±0.5° [5.0kW] |
| 消光比 | 100:1 |
| 照度分布 | ±3% |
| 照度 | 8mW/㎠[200×200mm] 6mW/㎠[400×400mm] |
Polarization exposure device 偏光曝光設備
| 主波长 | 313nm |
|---|---|
| 平行度 | ±1.5° [2.0kW] ±0.5° [5.0kW] |
| 消光比 | 100:1 |
| 照度分布 | ±3% |
| 照度 | 8mW/㎠[200×200mm] 6mW/㎠[400×400mm] |