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AC/DC磁控管
AC/DC磁控管
敝司与白俄罗斯的IZOVAC公司合作,在尝试离子束溅鍍法的同时,还利用该公司的AC/DC磁控管进行各种尝试。以下是该公司的AC/DC磁控管。
AC/DC磁控管与离子束溅鍍法相比,薄膜形成温度稍高,但形成率与离子束相比,可获得翻倍值等特点。(根据合同也能單獨販賣相同的溅鍍源以及电源)
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