单元类型紫外线洗净改性設備
可以对应大型液晶面板等各种尺寸，清洁对策也万无一失。
产品的特点
基本规格
| 型号 | PL20021R-4 |
|---|---|
| 照射区域 | 1,000×650mm |
| 使用灯管 | EUV-200US |
| 灯管个数 | 21个 |
| 照射强度(距离10mm时) | 20mw/cm2 |
根据工件尺寸及惰性气体注入等，定制最合适的客製化规格。
Ultraviolet washing apparatus 紫外线洗淨設備
| 型号 | PL20021R-4 |
|---|---|
| 照射区域 | 1,000×650mm |
| 使用灯管 | EUV-200US |
| 灯管个数 | 21个 |
| 照射强度(距离10mm时) | 20mw/cm2 |