当社はベラルーシのIZOVAC社との提携により、イオンビームスパッタリングとともに、同社のAC/DCマグネトロンを利用した様々な試みをしております。下記は同社のAC/DCマグネトロンです。
AC/DCマグネトロンはイオンビームスパッタリングと比較すると多少高温での薄膜形成となりますが、形成レートはイオンビームに比較して、約倍の値が得られる等の特徴があります。 契約によっては同スパッタ源および電源の単体販売もいたします）