紫外線偏光露光装置
偏光角（Brewster'sangle）による紫外線露光を使用し、大画面でも一括露光が可能です。
製品の特徴
基本スペック
| 主波長 | 313nm |
|---|---|
| 平行度 | ±1.5° [2.0kW] ±0.5° [5.0kW] |
| 消光比 | 100:1 |
| 照度分布 | ±3% |
| 照度 | 8mW/㎠[200×200mm] 6mW/㎠[400×400mm] |
Polarization exposure device 偏光露光装置
| 主波長 | 313nm |
|---|---|
| 平行度 | ±1.5° [2.0kW] ±0.5° [5.0kW] |
| 消光比 | 100:1 |
| 照度分布 | ±3% |
| 照度 | 8mW/㎠[200×200mm] 6mW/㎠[400×400mm] |