紫外線偏光露光装置

紫外線偏光露光装置
偏光角(Brewster'sangle)による紫外線露光を使用し、大画面でも一括露光が可能です。
製品の特徴
基本スペック
主波長313nm
平行度±1.5° [2.0kW]
±0.5° [5.0kW]
消光比100:1
照度分布±3%
照度8mW/㎠[200×200mm]
6mW/㎠[400×400mm]
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