ユニットタイプ紫外線洗浄改質装置
大型液晶パネルなど各種サイズに対応が可能で、クリーン対策も万全です。
製品の特徴
基本スペック
| 型式 | PL20021R-4 |
|---|---|
| 照射エリア | 1,000×650mm |
| 使用ランプ | EUV-200US |
| ランプ本数 | 21本 |
| 照射強度(距離10mm時) | 20mw/cm2 |
ワークサイズや不活性ガス注入等、最適な仕様にカスタマイズ致します。
Ultraviolet washing apparatus 紫外線洗浄装置
