低圧水銀ランプ
カセットtoカセットで処理を行い、搬送をウォーキングビームで行うことにより、クリーンな環境下でのガラスの表面洗浄(ITO, SIO2)が可能です。
ランプの種類と形式
上記以外にも特殊形状のランプの製作（特注）、発火長の長いランプの制作も可能です。
※はランプ材質L(オゾンレス)･H(ハイオゾン)･S(合成石英)が入ります。
254nmの波長のみ欲しい場合はLタイプを､184.9nmの波長がより多く欲しい場合はSタイプをその中間の場合はHタイプをお選びください。
